Mikä on plasman ilmaisinteippi?

Plasman indikaattoriteippi on älykäs tunnistusmateriaali, jota käytetään erityisesti tyhjiöjärjestelmiin ja plasmaprosesseihin. Se tarjoaa reaaliaikaista palautetta tärkeimmistä parametreista erityisten fysikaalisten ja kemiallisten muutosten kautta. Se voi näyttää intuitiivisesti plasman tilat ja mikrovuodot, jotka ovat ihmissilmälle näkymättömiä.

1. Plasma-indikaattorinauhan käyttöä koskevat varotoimet

(1). Pinnan esikäsittely

Ennen liimaamista testattava pinta on puhdistettava asetonilla tai isopropyylialkoholilla. Anna sen seistä pyyhkimisen jälkeen 2 minuuttia varmistaaksesi, että liuotin on haihtunut kokonaan. Pintaenergian käsittelyn jälkeen tulee olla ≥38dyn/cm, mikä voidaan varmistaa dyne kynätestillä. Älä koske liimapintaan suoraan sormillasi välttääksesi öljykontaminaation, joka voi heikentää herkkyyttä.

(2). Liitämistoiminto

Kun olet irrottanut indikaattorinauhan antistaattisesta irrokekalvosta, rullaa sitä hitaasti toista päätä pitkin ja paina tasaisesti 0,5-1 kg/cm². Työnnä reunaa silikonikaapimella kuplien poistamiseksi. Pienet kuplat, joiden halkaisija on ≤ 1 mm, ovat sallittuja. Anna liimauksen jälkeen seistä 5 minuuttia, jotta liimakerros tasoittuu täysin. Toistuva kuoriminen ja liimaus on ehdottomasti kielletty. Jokainen uudelleenliimaus vähentää liiman määrää yli 50 %.

2. Plasma-indikaattorinauhan epäonnistumiskriteerit

(1) Fyysisen epäonnistumisen kriteerit

Alustan vaurioituminen: esiintyy näkyviä halkeamia (pituus > 2mm) tai delaminaatiota, ja alustassa tapahtuu palautumatonta vääntymistä (taivutussäde > 15°).
Liimavaurio: liimapinnan jäännöspinta-ala > 5 % (vaikuttaa uudelleenkiinnitykseen), kuoriutumislujuus putoaa alle 30 %:iin alkuperäisestä arvosta (testattava vetotesterillä).
Epäpuhtaudet ja korroosio: irrotettavat hiukkaset tarttuvat pintaan (hiukkaskoko > 50 μm ja tiheys > 3/cm²), ja plasma kuluttaa substraattia reikiin (halkaisija > 1 mm).

(2) Chemical Failure Criteria

Epänormaali värinmuutosreaktio: standardiolosuhteissa (kuten 50 W argonplasma) värinmuutosaika ylittää nimellisarvon ±30 % ja värinmuutosalueella on epätasainen diffuusio (väripisteen halkaisijaero > 20 %).
Pinnoitevirhe: herkkä pinnoitteen kuoriutumisalue > 10 % (mikroskooppihavainnointi), ΔE-arvo putoaa > 40 % toistuvan käytön jälkeen (spektrofotometrin havaitseminen). Kemiallinen stabiilisuusvaurio: Alustan haurastuminen tapahtuu altistumisen jälkeen syövyttäville kaasuille (kuten Cl₂, F2) ja kumulatiivinen altistuminen yli 0,2 ppm:n otsonipitoisuudelle yli 24 tunnin ajan.

Plasman ilmaisinteippi on vaihdettava, jos seuraavat olosuhteet ilmenevät:
Alustalle kehittyy halkeamia tai delaminaatiota, jonka pituus on yli 2 mm; Yli 5 % jäännösliimapinta-ala vaikuttaa uudelleenteippaukseen; Värinmuutoksen vasteaika kasvaa yli 50 % alkuperäiseen arvoon verrattuna; Kertynyt altistusaika ylittää valmistajan määrittämän käyttöiän.

3.Plasman ilmaisinnauhan säilytysolosuhteet

(1) Ympäristövaatimukset

Lämpötila: 15-25℃ (vaihtelu <±3℃/h)
Valonkestävä: UV-intensiteetti <10μW/cm²
Pölynkestävä: Puhtausluokka 1000 tai alle

(2) Pakkaustiedot

Alkuperäinen alumiinifoliopussi suljettuna (vesihöyryn läpäisynopeus <0,1g/m²/vrk)
Säilytetty maasta antistaattisessa kaapissa (pintakestävyys 10³-10⁶Ω)